近日，江苏省教育厅公布关于2023年度普通高等学校优秀本专科毕业论文（设计）评选结果的通知，由我院刘波课题组魏涛老师指导的功能材料专业1911班陈兴旺同学毕业论文《锗锑碲相变薄膜的激光直写光刻特性研究》获省优秀本科毕业设计（论文）一等奖。
该论文选题面向国家重大战略需求，重点解决国家在半导体领域“卡脖子”的光刻材料，研究了锗锑碲相变薄膜的激光直写光刻特性，深入分析了材料结构和光刻机理，实现了锗锑碲薄膜高性能湿法/干法显影，有力推动了环境友好型光刻材料研发及全真空环境的微/纳功能结构制造，在光电子器件、微机电系统等领域具有潜在应用价值。
该论文研究获得国家自然科学基金项目（62205231）资助，先后在国际期刊上发表学术论文3篇，申请国家发明专利2项，授权1项。2024年陈兴旺同学考取中科院苏州纳米所硕士研究生。
